洁净区环境监测警戒限度、纠偏限度的确定原则
参照悬浮粒子和微生物限度监测合格标准的50%、80%为限度范围,分别确定警戒限度和纠偏限度。
洁净区环境监测超警戒限度、纠偏限度的管理
当悬浮粒子数检测达到或超过警戒限度时,应立即对同一个功能间(区)进行复测,如三次检测在警戒限度之下,则应予以调查,但不用采取纠偏措施。如三次检测结果中出现有达到或超过警戒限度的数值,则查找原因,确定是否继续增加监测频次或对系统采取纠偏措施。
当微生物检测达到或超过警戒限度时,应立即对该功能间(区)进行连续三天复测,如三次检测在警戒限度之下,则应予以调查,但不用采取纠偏措施。如三次检测结果中出现有达到或超过警戒限度的数值,则查找原因,确定是否继续增加监测频次或对系统环境采取纠偏措施。
当检测结果达到或超过纠偏限度时,应按制定的纠偏规程操作,使洁净区环境恢复至警戒限度以下。