设计特点

　　压实75mm宽，行程100mm

　　精密滚珠丝杠传动

　　直流伺服或步进电机

　　抗蠕滑十字滚子轴承

　　高分辨率（0.1μm）、重复性（±0.75μm）和精度（±1.0μm）

　　高真空兼容

　　可选波纹管路盖

　　紧凑的多轴配置

　　MPS75SL是一种紧凑、高性能的线性定位平台，非常适合实验室的限制，同时提供生产环境所需的高可靠性。它是测量、测试、对准和部件装配的理想选择。

　　高精度

　　精密研磨滚珠丝杠提供精度、重复性和0.1微米的超精细定位分辨率。直流伺服电机配有旋转编码器。抗蠕动交叉滚子直线轴承提供平稳的旅行和良好的有效载荷特性。

　　可选真空制备

　　MPS75SL提供10-6托的可选真空准备。它是当今半导体制造和检验、光学制造和航空航天等市场中要求苛刻的真空应用的完美紧凑舞台选择。

　　高度可配置

　　可选的面包板安装板提供了直接安装到英国和公制面包板。防尘套可用于多尘环境。任何型号都可以安装在XY配置中，如果使用直角L形支架，则可以安装在XYZ配置中。它也可以安装在较小的MPS50SL阶段。

　　MPS75SL是MPS（微型定位台）系列的一员，包括线性、旋转、测角仪、垂直升降和Z级。两个或多个阶段可以很容易地安装在一起，在许多组合使用标准化的安装模式和适配器板。