AMZ紧凑型直驱Z轴定位平台, 可灵活组合，搭配AMS/AML或AMR叠加成XZ、XYZ或XYZT平台
产品特性：
·紧凑型直驱Z轴定位平台
·行程8mm，其他行程可定制
·内置光栅尺，重复定位精度可达±0.1um
·可灵活组合，搭配AMS/AML或AMR叠加成XZ、XYZ或XYZT平台
·内置气缸配重
·典型应用领域：适用于亚微米级定位、光学对位平台。
规格参数
| 参数规格 | 单位 | AMZ65 |
| 行程 | mm | 8 |
| 持续力 | N | 7.35 |
| 峰值力 | N | |
| 分辨率 | μm | ABI22: SINCOS |
| ABI21: 0.5/0.2 |
| AT2: SINCOS |
| AT2: 0.2/0.05 |
| 重复精度 | μm | ABI22 SINCOS: ±0.2 (4096X) |
| ABI21: 0.5/0.2:±1.0 |
| AT2: 0.2/0.05:±0.5 |
| AT2 SINCOS: ±0.1 (4096X) |
| 直线度 | μm | ±1.5 |
| 平面度 | μm | ±1.5 |
| 建议负载1 | kg | 0.5 |
| 运动质量2 | kg | 0.26 |
| 总质量2 | kg | 0.60 |
| 负载 | kg | 7.0 |
| 侧倾力矩 | Nm | 7.4 |
| 俯仰力矩 | Nm | 4.0 |
| 横摆力矩 | Nm | 4.8 |
注：
1.在此负载下，平台可以提供不少于1G的加速度。
2.运动质量和总质量不包含建议负载。
