检测项目

　　※SEM断口观察 + 微区污染EDS分析：

　　观察金属、塑料、陶瓷等固体材料的表面微观形貌以及测量微小尺寸。分析固体表面微区

　　含有的元素种类,各元素的 相对含量以及各元素在特定区域内的含量分布情况 。

　　※表面成份 + 深度 GD-OES分析：

　　既可以进行基体成分分析,如硬质合金材料,也可以进行表面成分-深度剖析,如PVD薄膜、

　　电镀层、热处理硬化层、涂装层、阳极氧化膜及化膜的表面工艺分析。

　　※制程质量缺陷分析

　　SEM/EDS

　　功能: 微观形貌观察、微小尺寸量测、微区成分分析

　　放大倍率: 5倍~30万倍

　　探测器分辨率: 133eV

　　可分析元素范围: Be(4)~U(92)

　　辉光放电光谱仪(GD-OES)

　　功能: 基材成分测试、表面成分-深度剖析

　　特点: 可得到产品表面成分随深度的分布曲线

　　深度范围: 10nm~150μm

　　成分范围: 10ppm~