增强型皮拉尼真空传感器

　　宽量程：0.01Pa～133kPa，抗冲击和振动

　　美国Instrutech CVG101系列对流增强型皮拉尼真空传感器，可以配合真空控制器VGC301，B-Rax 3000系列或FlexRax 4000系列使用。相对于其他真空计拥有更多增强设计，温度补偿功能放置真空规管的外面，消除不必要的部件和焊接,大大提高了性,提供的真空测量,同时降低成本。改进后受机械冲击和振动的影响较小。在入口有一个精细的网筛，有助于防止颗粒物的进入。该表也可以有效防止射频干扰。比热电偶真空计量程范围更宽广，度更高。

　　应用及案例

　　● 大学/研究所 ● 半导体

　　● 数据存储 ● 薄膜沉积

　　● 平板显示 ● 器

　　● 工艺真空 ● 冶金工业

　　● 真空泵系统

　　产品特色

　　● 增强型皮拉尼规

　　● 宽泛的测量范围：0.01Pa～133kPa

　　● 一个真空计就可以监控您的真空抽气和排气系统

　　● 可替代Graville-Phillips系列真空传感器使用

　　● 稳健设计承受更多冲击和振动

　　● 位，为您节约成本

　　● 安装和操作容易

　　技术指标

　　测量范围 1×10 -4 ～1000 Torr

　　1.3×10 -4 ～1333 mbar

　　1.3×10 -2 Pa～133 kPa

　　精度（N2,典型） 10 -4 ～10 -3 Torr；0.1 mTorr分辨率

　　10 -3 ～400 Torr；±10%读数

　　400～1000 Torr；±2.5%读数

　　重 复 性 ±2%读数

　　工作温度 0～50℃

　　烘烤温度 150℃（仅限于表，电子元件移除）

　　工作湿度 0～95％RH，非冷凝

　　安装方向 水平（1 Torr以下安装方式无影响）

　　接液材质 镀金钨，304 和316 不锈钢，玻璃，镍，特氟龙

　　内部容积 26 cm 3 （1.589 in 3）

　　内部表面面积 59.7 cm 2（9.25 in 2）

　　泄 漏 率 ＜1×10 -9 atm cc/sec He

　　重 量 85 g（3 oz）

　　RF/EMI CE

　　环境 RoHS