半导体设备软件CTF平台

设备软件,CTF(Cluster Tool Framework软件,分布式结构的集束设备控制平台软件,符合半导体设备行业标准的软件框架,支持Windows,Linux(计划)等操作系统,组件化、可视化开发,高度可定制化

访问量:

● CTF(Cluster Tool Framework)平台软件

分布式结构的集束设备控制平台软件

符合半导体设备行业标准的软件框架

支持WindowsLinux(计划)等操作系统

组件化、可视化开发

高度可定制化

● 组件化、可视化开发


开发流程

了解设备结构和功能需求

二次开发

基本配置(结构、IO、报警等)

● GUI配置和开发

● PM开发(子流程控制、配方执行)

● TM开发(传输控制)

调度开发(定制调度算法)

调试测试

单元、集成测试(+实际)

工艺测试

客户发布

维护升级

开发形式

配置/组态工具

● IO Config, GUI Designer

配置文件

● xml/json/csv 等格式

设备结构、配方格式、报警、联锁、常量、历史记录等

定制开发

● IO驱动

● PMTM

● GUI组件(如: 配方编辑器、robot动画等)

● CTC调度