微型台式真空镀膜机 磁控溅射仪 可调速旋转靶台使薄膜更均匀
KT-Z1650CVD是一款小型台式加热功率可控蒸发镀膜仪,仪器虽小,功能齐全。配备有电压电流反馈,样口台旋转样高度可调节,及电动挡板功能。通过定时调节预热功率蒸发功率,可对大部分金属进地均匀蒸发沉积
KT-Z1650CVD是一款小型台式加热功率可控蒸发镀膜仪,仪器虽小,功能齐全。配备有电压电流反馈,样口台旋转样高度可调节,及电动挡板功能。通过定时调节预热功率蒸发功率,可对大部分金属进地均匀蒸发沉积。真空腔体为透明石英玻璃减少样品污染,样品台可旋转以获得更均匀的薄膜,可制备各种金属薄膜和有机物薄膜。
主要特点/优势:
★ 玻璃钟罩真空腔室,最直观的蒸发状态和薄膜沉积现象观察;
★ 复合分子泵和直联旋片泵,大抽速准无油真空系统(分子泵抽速≥140L/S);
★ 两组水冷式蒸发电极,可长时间稳定工作,兼容金属材料与有机材料的蒸发源设计;
★ 专业真空蒸发电源,数显工作电流和电压,恒流输出;
★ 可定制一体化高精度刻蚀掩膜板;
★ 衬底可选择加热或水冷,源基距≥40-105mm;
★ 可调速旋转靶台使薄膜更均匀
★ 可沉积金属(Au, Ag, Al, Ca, Cu, Mg, Fe, Cr, Ni等)、非金属、化合物(MoO3, LiF等)及有机物材料,可拓展沉积单层膜、多层膜及混合膜;
★ 7寸显示器定时定点调节电流,达到控制功率效果
小型离子溅射仪 郑州 科探KT-Z1650PVD在磁控溅射中,由于运动电子在磁场中受到洛仑兹力,它们的运动轨迹会发生弯曲甚至产生螺旋运动,其运动路径变长,因而增加了与工作气体分子碰撞的次数,使等离子体密度增大,从而磁控溅射速率得到很大的提高,而且可以在较低的溅射电压和气压下工作。