七星华创D07-7B系列CS200A系列七星华创质量流量计
气体配比器可以外接两种或多种气体,采用质子型流量计,气路管道采用316抛光管制作耐腐蚀性强.气路接头采用全不锈钢双卡套快速接头,方便连接且不易泄漏
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型号 | D07-26C | D07-7B | D07-19B | D07-9E | D07-60B | CS200A | CS200D |
类型 | 普通型 | 普通经济型 | 精度型 | 大流量型 | 高精度型,数字型 | 高精度型 ,全金属密封型, | |
产品精度 | ±1.5％F.S. | ±1.5％F.S. | ±1％F.S.(20slm 30slm ±2％F.S.) | ±2％F.S. | ±2％F.S. | ±0.35％F.S.(＜35% F.S.) ±1.0% S.P.(≥35% F.S.) | ±0.35％F.S.(＜35% F.S.) ±1.0% S.P.(≥35% F.S.) |
线性 | ±1％F.S. | ±1％F.S. | ±0.5% F.S. | ±1％F.S. | ±1％F.S. | ±0.5% F.S. | ±0.5% F.S. |
重复精度 | ±0.2% FS | ±0.2% FS | ±0.2% FS | ±0.2% FS | ±0.2% FS | ±0.2% FS | ±0.2% FS |
量程范围 | 20sccm-10slm | 5sccm,- 10slm | 5sccm-30slm | 20slm,--,250slm | 300slm-2000slm | 5sccm,---- 50slm | 2sccm,---30slm |
工作压力范围 | (0.1～0.5) MPa | (0.1～0.5) MPa | (0.1～0.3) MPa, (0.1～0.5) MPa | (0.05～0.30) MPa（20slm ≤F.S.≤30slm） (0.15～0.30) MPa（200slm ≤F.S.≤250slm） | (0.25～0.5) MPa （F.S.≤1000slm） | (0.05～0.35) MPa （F.S.≤10slm）, ,(0.2～0.45) MPa（30slm＜F.S.） | (0.05～0.35) MPa （F.S.≤10slm） ,(0.1～0.35)MPa（10slm≤F.S.≤30slm） |
该气体配比器可以外接两种或多种气体,采用质子型流量计,气路管道采用316抛光管制作耐腐蚀性强.气路接头采用全不锈钢双卡套快速接头,方便连接且不易泄漏
气体配比器 主要用于气体流量测试,并按比例混合气体,为真空管式炉或手套箱营造特定要求的气氛环境. 控制方式采用集成化模块控制 功能延伸性强 根据客户要求随意添加
