这种设备的工作原理是先加氢除氧,然后在精氩塔中分离氮和氩;也可以利用分子筛吸附器,在液氧或液态空气的蒸发温度下同时吸附粗氩中的氧和氮,获得含氩为99.99%的精氩气,再用膜式压缩机加压充瓶。合成氨弛放气中含氩3~8%,也可设置氩塔提取氩。氖、氦提取设备的工作原理从空气分离设备精馏塔的下塔顶部冷凝蒸发器的氖、氦浓集区抽取原料气(其组分除氖、氦外还有氮和少量氢),然后将原料气导入粗氖、氦塔,在深低温下将氖、氦气浓缩和预分离,获得粗氖、氦混合气(组分为含氖和氦50~60%,其余为氮和氢)。混合气在换热器复热后通往催化器,用加氧法除氢,再用吸附器清除所生成的水。混合气中的氮和少量氧用冷凝器和吸附器在深低温下除去,从而获得纯的氖、氦混合气。以上所述是工作的步。第二步工作是把氖、氦分离,把氖、氦混合气在压缩机中加压后通入预冷器和液化器,在此经降温后通入节流阀,获得液氖和粗氦气。液氖中含有少量氦,液氖在精馏塔中与少量氦分离,获得高纯度氖(含氖99.99%)。粗氦气则用活性碳吸附器在低温下去掉氖,从而制得高纯度氦(含氦99.99%)。从空气分离设备中提取氦,因含量极微,产量少,成本高;需要大量氦气时主要从天然气中提取,只要天然气中含氦高于0.2%就有提取的价值。对于氖气,只能从空气分离设备中提取。