硅烷燃烧塔-硅烷燃烧净化塔-硅烷燃烧处理塔

关键词：硅烷燃烧塔

详细信息

　　一、一般说明近年来，为满足国内太阳能、光能行业，半导体行业及CVD化学气体沉积工艺中产生的硅烷气体净化，针对硅烷废气专门研究，研发出kunstoff型不锈钢硅烷燃烧塔.

　　二、硅烷燃烧塔产品说明：

　　⑴、硅烷的性质：硅烷也称矽烷，是化学分子式为SiH4的一种化合物，该气体无色无臭，密度1.44克/升，熔点-185℃，沸点-111.8℃，不溶于水。在室温下硅烷是一种易燃的气体，在空气中无需加火源，硅烷就可以自燃，生成二氧化硅和水，并放出大量的热量，可被一般氧化剂氧化。

　　⑵、燃烧塔原理：本燃烧塔采用燃烧洗涤法净化硅烷气体，它分别有一级燃烧塔和二级燃烧洗涤塔组成，根据硅烷(矽烷)在空气中自燃的特性，特在燃烧塔中设置密闭燃烧室，为保证硅烷在燃烧室内充分燃烧，必须保证燃烧塔内负压，控制在-150Pa左右。

　　⑶适应范围：

　　a.单晶硅、多晶硅行业生产中产生的硅烷尾气净化。

　　b.太阳能、光能行业。 c.半导体行业

　　d. CVD化学气体沉积工艺中产生的硅烷气体。

　　设计考虑因素：

　　1、本体：A、材质：耐高温不锈钢材料

　　B、本体结构设计符合完整的基础支撑，顶部强度至少可以支撑一个人的重量。C、燃烧桶、填料室、喷淋系统、脱液系统及检修视窗等，功能性强，操作方便。2、燃烧桶入口及燃烧塔出口设计：燃烧桶入口及燃烧塔出口必须防止气流空蚀现象，如果设计不良，硅烷废气容易产生爆炸危险。本公司研究推出的硅烷燃烧塔，利用硅烷于空气接触而自燃的特点，使硅烷在燃烧桶内与空气充分接触燃烧，设备进口上装用单向阀能防止燃烧室内的气体倒流进入生产设备，提高系统的安全性能。设备运行成本低，安全可靠，可在生产设备不停止状态下对硅烷燃烧塔进行检修。3、循环水槽：燃烧塔部连接一个循环水泵，提供燃烧塔喷淋系统所需之循环水量，设计上着重于经济型，操作维修方便及耐腐蚀性。

　　4、洗涤液及分布系统：A、洗涤液可循环使用，也可设计分批操作或连续式自动操作，当水箱中和循环液清洁度达不到使用要求时，通过水箱底部的排污口将水箱中和循环液排出，由进水口注入新的中和循环液，以保持水箱中的中和循环液的清洁度。以便在吸收污染物后尚能维持其效率。B、洗涤液分布时采用低压较大水量之喷嘴，发挥之均匀效率，达到之洗涤效率。5、新风补气口燃烧室有通向塔体外的新风补气口，新风补气口装有单向阀。如果压缩空气中断时，依靠内部负压由新风补气口向燃烧室进行补气，当燃烧室压力大于外界压力时，加装的单向阀自动关闭，防止燃烧室的气体从新风补气口排出。