X射线衍射仪：根据光的衍射原理，主要用于用于检测材料的晶格取向和晶体质量。

　　AFM(原子力显微镜)：根据原子之间的相互作用力，主要用于表征材料表面形貌的粗糙度。

　　SEM(扫面电子显微镜)：利用电子束轰击材料表面，收集材料表面二次电子的信息成像。主要用于表征材料的表面形貌。

　　Raman Spectra(拉曼光谱)：根据材料中的分子对光的散射，这些散射信号对应着分子的振动和旋转的状态。主要用于鉴别物质化学结构，材料质量（结晶性），探测材料应力（分子间作用力）。

　　XPS (X射线光电子能谱)：随着该原子所在分子的不同，利用高能X射线将原子内壳层电子打出，得到该给定内壳层电子的光电子峰会有位移，称为化学位移。由此判断材料分子结构和原子价态，元素组成和含量等方面的信息。