高纯氩是一种无色无味无毒气体。化学性质极不活泼，未形成任何化合物。相对密度ds(21.1℃)1.38。气体密度1.650kg/m3(21.1℃)；液体密度1394.0kg/m3(-185.9℃)。沸点-185.9℃。熔点-189.2℃。采用空气分离提氩，即将液化的空气进行精馏，得到粗氩。抽出粗氩，经进一步提纯可得到高纯氩。
高纯氩急救措施
皮肤接触
接触高纯氩，可形成冻伤。用水冲洗，就医。
眼睛接触
高纯氩溅入眼内，可引起炎症，翻开眼睑用水冲洗，就医。
吸入
将患者移至空气新鲜处。呼吸停止，施行呼吸复苏术，心跳停止，施行心肺复苏术，就医。
高纯氩气广泛的用途：氩气主要应用于焊接、不锈钢制造、冶炼，还用于半导体制造工艺中的化学气相淀积、晶体生长、热氧化、外延、扩散、多晶硅、钨化、离子注入、载流、烧结等。
