美国AE直流电源维修MDX-5K射频电源维修

　　北京天浦正达AE直流电源维修中心可维修故障范围包括:

　　无输出,烧,开不了机,面板无显示修,启动无输出,输出电压不正常,带不了负载,模块坏等

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　　AE MDX系列直流电源操作

　　前面板：

　　AE MDX直流电源操作及接线说明

　　1）指示灯

　　Output Power

　　a)Stop的指示灯亮时，表示电源已关闭

　　b)Start的指示灯亮时，表示电源已打开Regulation

　　a)Power的指示灯亮时，表示电源处于功率模式，设定值是功率值

　　b)Current的指示灯亮时，表示电源处于电流模式，设定值是电流值

　　c)Power和Current的指示灯同时亮时，表示电源处于电压模式，设定值是电压值

　　d)Power和Current的指示灯同时闪时，表示电源处于未知模式Status

　　a)Arc指示灯亮时，表示腔室内阻抗过低，输出电流过电源规定的大值

　　b)Setpoint指示灯亮时，表示电源的输出值已经达到设定值

　　c)Remote指示灯亮时，表示电源的开关或设置值处于远控模式

　　d)Output指示灯亮时，表示电源已经打开

　　e)Plama指示灯亮时，表示输出电流大于10mA

　　f)Interlock指示灯亮时，表示互锁已经满足，若不满足，则该灯闪烁

　　Level键：用于设置电源参数

　　Display键：按改键可切换显示功率、电压或者电流

　　拨码开关

　　RAMP，0.1 Sec：开关置下时，表示电源输出从0到设定值的时间为0.1秒

　　RAMP，1.0 Sec：开关置下时，表示电源输出从0到设定值的时间为1.0秒

　　RAMP，10 Sec：开关置下时，表示电源输出从0到设定值的时间为10秒C HOLD：开关置下时，可缩短一次以后电源输出值达到设定值的时间ON/OFF：开关置上时，表示通过User Port来打开或者关闭电源，置下时，表示通过前面板打开或者关闭电源

　　AE电源维修常见型号系列：

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　　射频电源设备维修：刻蚀，RIE,PECVD,ICP,射频溅射，CVD和PVD等系统

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