早期的ITO导电膜玻璃是采用铟锡合金作为溅射靶材，进而通过氧化反应形成膜导电膜。但这种材质有这天然的缺陷，比如，它对溅射工艺控制的要求就非常严格。因为氧气流量的轻微波动，可能就会导致氧化反应的不均匀，最终导致膜层的透过率和刻蚀性变差。而如果氧气流量过大，又会使得靶面溅射效率下降，进而影响膜层的厚度和阻值。 因此，随着镀膜技术的不断发展和新材料的研发，氧化靶出现了。这种制作工艺就是将高纯度的氧化铟和氧化锡超细粉末，按比例充分混合后、采用粉末冶金工艺烧结成固体靶材。这样的好处是可以避免上述用铟锡合金作为溅射靶材、通过氧化反应形成导电膜的工艺所出现的大部分问题。

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　　ITO膜层的主要成份是氧化铟锡。在厚度只有几千埃的情况下，氧化铟透过率高，氧化锡导电能力强，液晶显示器所用的ITO玻璃正是一种具有高透过率的导电玻璃。由于ITO具有很强的吸水性，所以会吸收空气中的水份和二氧化碳并产生化学反应而变质，俗称“霉变”，因此在存放时要防潮。