此前我们在讲《什么是ITO导电玻璃，可用于哪些行业》这篇文章的时候，详细解读了ITO镀膜玻璃的概念，这里不再赘述其名称的来源了。当下，ITO导电玻璃一种非常成熟的产品，相对于其他的TCO玻璃而言，它的透过率更高，膜层更加牢固，导电性能也更加的好，也是比较早的被用于光伏电池行业的一种玻璃。 然而，随着光伏技术的进步，商业界对于光的吸收性能提出了更高的要求（也就是希望光能的使用效率更高）。这就要求，TCO玻璃在具备透过率高、导电性强的同时，还要具备较高的光散射能力，而ITO玻璃很难做到这种要求，且刻蚀方面的性能也相对较差。 另一方面，ITO膜在等离子体中也不够稳定。此外，我们在介绍ITO成分的时候，知道了ITO膜中有铟这种稀有元素。不巧的是，这种元素在自然界中贮存量少。物以稀为贵，铟这种物质也是，这就导致了ITO玻璃的造价也比较高。 所以，基于如上种种原因，现如今ITO导电玻璃已经不是主流的光伏电池电极玻璃了。逐渐取而代之的，是后来的FTO玻璃。
早期的ITO导电膜玻璃是采用铟锡合金作为溅射靶材，进而通过氧化反应形成膜导电膜。但这种材质有这天然的缺陷，比如，它对溅射工艺控制的要求就非常严格。因为氧气流量的轻微波动，可能就会导致氧化反应的不均匀，最终导致膜层的透过率和刻蚀性变差。而如果氧气流量过大，又会使得靶面溅射效率下降，进而影响膜层的厚度和阻值。 因此，随着镀膜技术的不断发展和新材料的研发，氧化靶出现了。这种制作工艺就是将高纯度的氧化铟和氧化锡超细粉末，按比例充分混合后、采用粉末冶金工艺烧结成固体靶材。这样的好处是可以避免上述用铟锡合金作为溅射靶材、通过氧化反应形成导电膜的工艺所出现的大部分问题。
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