性能优势

　　1.精密的三维移动平台

　　2.样品观测系统

　　3.先进的图像识别

　　4.轻松实现深槽样品的检测

　　5.四种微孔聚焦准直器，自动切换

　　6.双重保护措施，实现无缝防撞

　　7.采用大面积高分辨率探测器，有效降低检出限，提高测试精度

　　试并显示结果。

技术指标

　　分析元素范围：硫（S）～铀（U）

　　同时检测元素：最多24个元素，多达5层镀层

　　检出限：可达2ppm，最薄可测试0.005μm

　　分析含量：一般为2ppm到99.9%

　　镀层厚度：一般在50μm以内（每种材料有所不同）

　　重复性：可达0.1%

　　稳定性：可达0.1%

　　SDD探测器：分辨率低至135eV

　　先进的微孔准直技术：最小孔径达0.1mm,最小光斑达0.1mm

　　样品观察：配备全景和局部两个工业高清摄像头

　　准直器：0.3×0.05mm、Ф0.1mm、Ф0.2mm与Ф0.3mm四种准直器组合

　　仪器尺寸：690（W）x 575（D）x 660（H）mm

　　样品室尺寸：520（W）x 395（D）x150（H）mm

　　样品台尺寸：393（W）x 258 （D）mm

　　X/Y/Z平台移动速度：额定速度200mm/s 高速度333.3mm/s

　　X/Y/Z平台重复定位精度：小于0.1um

　　操作环境湿度：≤90%

　　操作环境温度：15℃～30℃