机械结构改为X轴固定，样品盘移动的形式。

　　X/Y轴应用带编码器的伺服控制电机组件，避免步进电机丢步。

　　同步带上增加弹簧皮带夾。

　　采用更大容量的滤头。

　　三通阀出入口接管改用标准1/16PEEK手拧头方式。

　　采购平面研磨抛光机用于研磨该零件。

　　采购平面研磨抛光机用于研磨该零件。

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　　注：表面研磨到位情况下实测寿命可达25万次以上。