高纯氩在半导体工业中用作生产高纯硅和锗晶体的保护气体;可用作系统清洗、和增压用的惰性气体;在化学气相沉积、溅射和退火等工艺中有所应用。
高纯氩气是稀有气体,用作不锈钢,,铝和其他合金的电弧焊(切割)的保护气体。 它也用于冶炼钢,铝,钛和锆。 氩气放电后会发出紫色光,还用于照明技术和填充日光灯,光电管,照明管等。
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产品说明氩气是工业上应用很广的稀有气体。它的性质十分不活泼,既不能燃烧,也不助燃。在飞机制造、造船、原子能工业和机械工业部门,对特殊金属,例如铝、、铜及其合金和不锈钢在焊接时,往往用氩作为焊接保护气,防止焊接件被空气氧化或氮化。用于焊接、不锈钢制造、冶炼,还用于半导体制造工艺中化学气相沉积、晶体生产、热氧化、外延、扩散、多晶硅、邬化、离子注入、载流、烧结等,用作平衡气、标准气、零点气等。
高纯氩也可作为色谱载气。氩被广泛用来充填弧光灯、荧光灯和电子管;焊接保护气;在钛、钴和其他活性金属的生产中用作气;在黑色冶金中用于吹炼特种钢。